檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "反應動力".ckeyword (精準) and year="111"
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本論文中針對三氯矽甲烷(MTS)為原料在氫氣氣氛下化學氣相沉積β相碳化矽薄膜的反應機制進行量化模型之探討。首先以一簡化的模型,即僅考慮MTS氣相解離生成一中間產物並貢獻長膜的逐次反應型式,對熱壁式水…
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本研究探討添加氧化石墨烯 (GO)、矽烷接枝氧化石墨 (GPS-GO) 和熱脫層氧化石墨 (TRGO) 對環氧樹脂(epoxy)/4, 4'-二胺基二苯甲烷(DDM)系統的體積收縮、固化反應動力、X…